简繁互换
设为首页
设为收藏
手机版
东南网 / 新闻频道 / 天下 / 社会(即时新闻) / 正文

中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺全覆盖

2023-06-29 15:45 作者:温竞华 新华社 责任编辑:吴静

新华社北京6月29日电(记者温竞华)记者29日从中国电子科技集团有限公司获悉,该集团旗下中电科电子装备集团有限公司(简称电科装备)已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖,有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。

离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。

当前,28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。据介绍,电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术,形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局,实现了28纳米工艺制程全覆盖,切实保障国产芯片生产制造。

据了解,作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业,电科装备已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系,产品涵盖逻辑器件、存储器件、功率器件、传感器等工艺器件,百台设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线,累计流片2000万片,有力提升我国产业链供应链韧性和安全水平。

关键词:离子注入机,离子注入设备,国电科,制程,全系列



本网转载内容出于更直观传递信息之目的。该内容版权归原作者所有,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。如该内容涉及任何第三方合法权利,请点击投诉按钮,我们会及时反馈并处理完毕。
投诉
新闻中心
  • 快讯
  • 国内
  • 国际
  • 娱乐
  • 体育
点击加载更多>>>
点击加载更多>>>
点击加载更多>>>
点击加载更多>>>
点击加载更多>>>

关注东南网微信

扫码关注,了解福建

排行榜
  • 日排行
  • 周排行
  • 月排行
关于我们 | 广告服务 | 网站地图 | 网站公告
国新办发函[2001]232号 闽ICP备案号(闽ICP备05022042号) 互联网新闻信息服务许可证 编号:35120170001 网络文化经营许可证 闽网文〔2019〕3630-217号
信息网络传播视听节目许可(互联网视听节目服务/移动互联网视听节目服务)证号:1310572 广播电视节目制作经营许可证(闽)字第085号
网络出版服务许可证 (署)网出证(闽)字第018号 增值电信业务经营许可证 闽B2-20100029 互联网药品信息服务(闽)-经营性-2015-0001
福建日报报业集团拥有东南网采编人员所创作作品之版权,未经报业集团书面授权,不得转载、摘编或以其他方式使用和传播
职业道德监督、违法和不良信息举报电话:0591-87095403(工作日9:00-12:00、15:00-18:00) 举报邮箱:jubao@fjsen.com 福建省新闻道德委举报电话:0591-87275327